“咕咚!”
一道疑惑的声音打破了会议室此刻骇然惊悚的氛围:“肖部长!您没有开玩笑吧?”
台上的路远太年轻了,看模样只有十四五岁的样子。
哪怕年龄大一点,也超不过二十岁。
一个如此年纪的孩子,怎么可能研究出超越阿斯麦的光刻机技术呢?
这也是会议厅中大部分人觉得不可思议的原因。
“黄院士!我很确定!路总工已经研究出了SSMB-EUV光刻机组的技术,而且技术详细到每一个螺丝钉的尺寸、工艺!”
科技部部长肖长安站了起来,他郑重的说道:“技术昨天夜里已经经过龙科院刘院长、国家激光研究所的张院士等三十多位教授院士的认证!”
哗啦!
会议厅中的大部分科研学者纷纷一颤。
有的人直接跌坐在了地上,有的人闪了腰,有的岔了气。
最后排的龚喜等人更是震悚颤抖了起来。
突然间。
龚喜脑中划过了一道灵光,她回忆起了不久前去找龚崇山时的场面,这把她吓了一跳:“难道说他说的是真的?”
众人死死的盯着路远,想要看一看,这位青年是如何创造奇迹,与他们又有什么不同。
“太不可思议了!”
“一个人研究出了整套技术,详细到了螺丝钉的规格技术,这已经不是天才了!而是妖孽!”
……
要知道,目前一台高端光刻机至少有上万个零部件构成。
包含曝光系统、工件台掩膜台系统、自动对准系统、调焦调平测量系统、掩膜传输系统、硅片传输系统、环境控制系统、整机框架及减震系统、整机控制系统、整机软件系统等等。
这些零部件哪怕是阿斯麦这样的公司,也是从各个供应商那里定制,然后运回公司进行组装。
他们提供的最多就是图纸、数据,具体供应商用哪种制作工艺制造出零部件,阿斯麦根本不会管这些。
肖长安竟说这些都是路远一个人研究出来的,其中还涉及有零部件的工艺技术。
这是一个人能制作出来的吗?
如果它真这么容易就能研究出来的话,国家何至于将光刻机的诸多技术,分配给各个实验室进行深研呢?
哪怕阿斯麦也是汇聚了全球顶尖的零部件供应商,才制造出了最顶尖的光刻机。
你当世界顶尖研究团队都是吃干饭的吗?
再说了,这个世界怎么可能有全才?
哪怕他从娘胎里开始学习,学到十九岁也不可能研究出光刻机的所有技术。
这需要的可不仅仅是理论知识,还需要大量的实验、数据和经验。
仅仅一个高精度镜头的技术,就足以让人拼搏一辈子。
但是肖长安作为国家科技部长,怎么可能在这件事上说谎。
众人心里面虽然不大信,但也不得不信。
“这绝对是一个怪物级别的超级天才!”
众人的心里面同时呐喊出了一个声音。
“各位老前辈们好!我叫路远!接下来的日子里,我将和大家共同完成SSMB-EUV光刻厂的项目!”
路远等众人的心情稍微平复之后,他挺起了胸膛,铿锵有力的说道:“这是我第一次带团队,没有经验,有什么不足的地方希望大家指正!”
“本项目的次要部件已经由肖部长转交给了国内的一百多个研究所帮忙制造!”
“咱们的主要任务是光源、高精度镜头组、系统……”
他根据昨天晚上肖长安安排好的计划,为在场的所有科研人员分配了工作,并将相应的技术理论、标准、实践方法等等一一说出。
“路总工!对于光刻胶我有一个问题!您刚才讲到光刻胶的布胶工艺中……”
很快,有教授举手打断了彭坤的话,提出了一个问题。
这个头一开。